MEMS是什么

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文缩写。微机电系统是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
　　微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。
　　微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级，自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速，被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。
　　微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果，使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域，涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程，将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。
　　MEMS(微机电系统)最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛，消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。
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22# YUIM 说：2015-07-17 14:32
3个单轴MEMS陀螺测空间刚体角速度需要正交安装，保证正交度么？
21# 云端 说：2014-07-21 07:03
微机电系统(MEMS)麦克风，在中低价智慧型手机中有应用吗？
20# soothmusic 说：2014-07-20 06:08
回答19# wyf86：
分辨率(Resolution)、零角速度输出(零位输出)、灵敏度(Sensitivity)和测量范围。
19# wyf86 说：2014-07-19 22:55
MEMS陀螺仪的重要参数有多少？
18# EEPW521 说：2014-06-19 22:03
回答17# eepwlover：
大量用于汽车安全气囊
17# eepwlover 说：2014-06-18 22:24
MEMS(微机电系统)最初在什么领域有应用？
16# 活词典 说：2014-05-19 21:35
从MEMS传感器的品牌结构来看，目前中国市场仍为外资厂商掌握，排名前十的MEMS传感器厂商占据了50%以上的市场份额。
15# wyf86 说：2014-04-16 23:23
回答14# soothmusic：
可用作传感器
14# soothmusic 说：2014-04-15 23:00
MEMS可以用作传感器？
13# 云端 说：2014-02-18 21:42
回答12# wyf86：
多数是，但其他也有，如医疗等
12# wyf86 说：2014-02-17 22:43
MEMS(微机电系统)只在汽车系统中用的多？
11# EEPW网友 说：2014-02-07 09:25
这个网站很全，国外有些领域领先，国内也有不错的产品，比如一些电子研究所。
10# wyf86 说：2014-01-15 22:15
MEMS的出现，改进了陀螺仪
9# wyf86 说：2013-11-07 21:24
回答8# soothmusic：
无创胎心检测就是一例。
8# soothmusic 说：2013-11-06 22:27
MEMS传感器,在医疗领域有应用？
7# soothmusic 说：2013-09-25 22:52
回答3# 活词典：
通过集成与微型化，来开发功能与原理的系统或元件，创造一个新产业。
6# 云端 说：2013-09-22 23:02
回复1# soothmusic：
性能很稳定、价格较低、耐用性较好、功耗较低、重量很轻、体积较小。
5# wyf86 说：2013-09-11 22:20
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。
4# soothmusic 说：2013-09-09 22:04
MEMS具有哪几个基本特点？
EEPW521回答:2013-09-10
微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。
3# 活词典 说：2013-08-27 22:19
MEMS发展的目标是什么？
2# soothmusic 说：2013-08-25 21:46
MEMS的特点是什么？
EEPW521回答:2013-09-23
涉及多个学科，功能较集成，可以大批量生产，硅是主要材料，微型化。
1# soothmusic 说：2013-08-22 20:39
微机电系统(MEMS)的优点是什么？
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